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国家杰出青年基金获得者钱林茂教授做客“三峡•天问大讲坛”

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—— 2023年03月29日 16:27 作者:吴刚、张小龙 浏览:

3月29由学校科技发展研究院主办,机械与动力学院承办的“三峡•天问大讲坛”第三十在校图书馆昭君报告厅举行。国家杰出青年基金获得者、西南交通大学钱林茂教授应邀作了题为《面向IC制造的微观去除机理及应用研究》的学术报告。报告由三峡大学党委副书记田斌教授主持学校相关研究领域教师及研究生参加了本次报告

钱林茂教授从我国芯片行业的重大需求入手,围绕晶圆制造过程中“原子级平整”、”近零损伤”的业界难题,从摩擦学和抛光角度提炼出晶圆表面原子级材料去除机制的科学问题。从单原子层可控去除、原子无损剥离机制、化学机械抛光机理等三方面向参会师生介绍其团队的最新研究进展,最后将相关理论应用于在化学机械抛光装备的研发,以及在机械零部件精密加工上

钱林茂教授的学术报告热情洋溢,声情并茂,内容详实,对与会师生的学术研究具有重要的启迪作用和指导意义。报告结束后,师生就相关领域问题与钱林茂教授进行了热烈的讨论,现场学术氛围浓厚,与会人员收获良多

窗体底端

钱林茂,西南交通大学教授、博导,机械工程学院院长,教育部长江学者特聘教授,国家杰出青年基金获得者,中组部万人计划科技创新领军入选者和四川省创新团队带头人。中国机械工程学会摩擦学分会副干事长,四川省机械工程学会副理事长。研究方向为纳米摩擦学与微纳制造。已出版中英文专著3部,在Nature Communications、PNAS等期刊发表SCI收录论文230余篇;获得教育部自然科学二等奖1项(排名第1)、一等奖2项(排名第4和第8);主持包括国家重点研发计划项目、国家自然科学基金重点项目、重大项目课题在内的国家及省部级项目;授权中国发明专利26项、美国发明专利2项。培养毕业的博士1人入选青年长江,1人获国家优青基金资助,另有两人获上银优博优秀奖。





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